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設計一臺檢測設備，一個平臺上有一個產品，產品差不多是一片玻璃，產品表面水平精度小于1mm，在載臺上方有一個X軸,X軸上是一個Z軸掛檢測相機，檢測相機的景深是只有正負20um,也就是說在X軸在動作檢測的過程中，Z軸要自動的進行對焦補償，保證相機到玻璃表面距離波動誤差很小才能讓檢測圖片清晰；這個Z軸的自動對焦補償要怎么做比較合適呢？有沒有哪位大佬有做過類似案例分享下經驗或者給下建議。控制系統用的是三菱PLC+三菱伺服，X軸檢測速度300mm/S. 檢測長度1M~2M.感謝路過的大佬。

單點采集取不到平面度，確實需要采集平面3點取水平，接觸式不合適可選激光的，測到距離偏差，相機運動補償對焦就可以；300mm/s速度相機是2.5d還是3d，連續采集中去補償效果不太好，對焦后去拍可以