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        低 真 空：105 ～102 Pa　　(760～1 Torr)
　　中 真 空：102 ～10-1 Pa　　(1～10-3 Torr)
　　高 真 空：10-1～10-5 Pa　　(10-3～10-7 Torr)
　　超高真空： ≤10-5 Pa　　(≤10-7 Torr)
      我要在高真空狀態腔體內安裝氣缸可以嗎？
    氣管會不會爆？
    氣缸會不會漏氣？

通常的設計都是把氣缸缸體放在外部，氣缸桿伸進腔體內