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近年來國內(nèi)對(duì)過程控制行業(yè)節(jié)能環(huán)保的要求不斷提高，越來越多的指標(biāo)，已經(jīng)從粗略估算發(fā)展到需要定量分析，很多原料、排量需要得到高精度的計(jì)量與控制。適用于多種應(yīng)用場合的氣體質(zhì)量流量控制器是高校科研院所和廣泛的工業(yè)過程自動(dòng)化控制中不可缺少的設(shè)備。

氣體質(zhì)量流量控制器是通過調(diào)節(jié)閥門大小開度來進(jìn)行控制氣體流量大小的專用閥門，用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，其性能指標(biāo)的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準(zhǔn)確度，進(jìn)而影響整機(jī)分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，為此監(jiān)測(cè)氣體質(zhì)量流量控制器中的流量變化十分有必要。

作為工業(yè)計(jì)量中重要的元器件，氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器目前仍以進(jìn)口為主，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計(jì)，MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)是采用熱擴(kuò)散原理進(jìn)行高精確測(cè)量，即使是微小氣體也能精確測(cè)量，在全球被廣泛使用。為此IST流量傳感器在MFC中的應(yīng)用工采網(wǎng)推薦瑞士IST 質(zhì)量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級(jí)版IST-AG FS7流量傳感器。




FS5.0.1L.195是一個(gè)熱質(zhì)流量傳感器,用于各種氣流應(yīng)用.熱質(zhì)流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過傳感器,熱質(zhì)由傳感器傳遞到媒體.此關(guān)序取決于流動(dòng)速率.隨著流動(dòng)增加,熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度,即可通過為保持恒定溫度差的電壓補(bǔ)償量得出流速。

而相對(duì)于FS5.0.1L.195而言IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測(cè)量范圍允許將傳感器直接置于被測(cè)氣路當(dāng)中，免去復(fù)雜的旁路設(shè)計(jì)。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進(jìn)行保護(hù)，具有良好的長期穩(wěn)定性。關(guān)于氣體質(zhì)量流量控制器中流量傳感器的應(yīng)用可參考《在質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用中IST流量傳感器的作用》一文。